高精度傳感器就是指測量觀測結果、計算值或估計值與真值（或被認為是真值）之間的接近程度很高，可以很真實的還原物體的本質的高精度傳感器。

目前常用的高精度傳感器是激光傳感器，其精度主要取決于光的單色性的好壞。激光是理想的光源，它比以往的單色光源（氪-86燈）還純10萬倍。因此激光測長的量程大、精度高。由光學原理可知單色光的可測長度 L與波長λ和譜線寬度δ之間的關系是L=λ/δ。用氪－86燈可測長度為38.5厘米，對于較長物體就需分段測量而使精度降低。若用氦氖氣體激光器，則可測幾十公里。一般測量數米之內的長度，其精度可達0.1微米。比如說ZLDS10X。以下介紹兩種高精度位移傳感器的特征：

ZLDS100R-4-39傳感器可用于鏡面和玻璃的表面測量；

頻率響應：2K、5K、8K、9.4K；

針對串口，提供了運行應用的DLL開發庫，方便用戶開發應用軟件；

支持特殊量程(如遠距離起始700mm小量程300mm等)；

分辨率0.01%,線性度0.1%；